Автоматизированная установка для измерения вольт-фарадных характеристик гетеропереходных светодиодов с повышенным разрешением
Установка предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (ВФХ) гетеропереходных светоизлучающих светодиодов (СИД) с целью диагностики их качества. Основное применение установки – исследование профиля распределения концентрации легирующей примеси в гетероструктурах, в том числе с квантовыми ямами с разрешением до нескольких нанометров.
В установке использован автогенераторный метод измерения емкости. Задание исходных параметров и обработка результатов измерения производится на компьютере. Установка автоматизирована, имеет микроконтроллерное управление.
Установка для измерения ВФХ превосходит известные аналоги по минимальному значению тестового сигнала и минимальному значению изменения напряжения смещения, которые определяют разрешающую способность.
Область применения установки: выходной контроль качества полупроводниковых приборов и гетеропереходных светодиодов в частности; научно-исследовательские задачи.
Технические характеристики:Диапазон измерения емкости – от 10-14 до 5·10-10 Ф;
Диапазон напряжений смещения – от +2 до -50 В;
Минимальный шаг изменения напряжения смещения – 12 мВ;
Частота тестового сигнала – 650 кГц;
Диапазон изменения амплитуды тестового сигнала – от 0,1 до 5 мВ;
Разрешение по емкости - 10-14 Ф;
Кратковременная относительная нестабильность частоты автогенератора - 5·10-6;
Максимальная относительная долговременная нестабильность – 1,5·10-5;
Методическая погрешность измерения емкости – не более 0,002 %
